電容式振動(dòng)傳感器具有較好的低頻特性且具有直流響應(yīng)，與其它類型的加速度傳感器相比其靈敏度高、環(huán)境適應(yīng)性好，尤其是受溫度的影響比較小;不足之處為信號的輸入與輸出呈非線性關(guān)系、量程有限、受電纜的電容影響較大;其通用性不如壓電式加速度傳感器，且成本也比壓電式加速度傳感器高得多。
 
電容式振動(dòng)傳感器非常適用于運(yùn)動(dòng)及穩(wěn)態(tài)加速度的測量、低頻低g值測量，且可耐受高g值沖擊。比如電梯的加速及減速測試、飛機(jī)的顫振試驗(yàn)、飛行器的發(fā)射與飛行試驗(yàn)、發(fā)動(dòng)機(jī)監(jiān)測等均需測量持續(xù)時(shí)間長、g值低的振動(dòng)，這些都是電容式傳感器的主要用途。事實(shí)證明，在測量低頻、低g值加速度時(shí)，電容式振動(dòng)傳感器比壓阻式加速度傳感器更為理想。
 
優(yōu)點(diǎn)
1)溫度穩(wěn)定性好
電容式振動(dòng)傳感器
的電容值一般與電極材料無關(guān)，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
2)結(jié)構(gòu)簡單
電容式振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量；能工作在高溫，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過載等；能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作進(jìn)行測量。
3) 可以非接觸測量且靈敏度高
可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測量時(shí)，電容式振動(dòng)傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
電容式振動(dòng)傳感器除了上述的優(yōu)點(diǎn)外，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。